“许董，按照目前的情况来看，我们集团公司生产的激光光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握，并没有把情况说📅😛死。他还是有点担心这🚼😱套激光光路系😬统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理👟🎛和照相机的原理基本一样，都是用曝光来成像。但第三🂒🎊代光刻机的精度非常高，最低可达到0018微米。倘若再使用ffe😘t制程技术和浸润式光刻制程技术，精度要达到001微米以下。
由此可以想到，第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高，一般的国家不能生产这种尖端设备🍧。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话，一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要，能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性，胡明镇😬不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成？”
看到李全等人的进度不是很快，许振鸣认为站在这里没啥意思，准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前，他向胡明🗋🚄镇要了一份这台光刻机装配和调试☆的工程进度表。
“许董，如果👟🎛一切顺利，我们会在元☢月28日左右开始试生产，并且用这台光刻机🝰🎵🕘来流片。”胡明镇比较忙，跟许振鸣说了几句，又开始投入工作。
许振鸣🔃♤见此，拿着一摞🛍🛉🚧用a4纸打印的资料，一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。🝰🎵🕘
“三天内完成👟🎛设备组装和安装，五天内调试好这台设备，第九🁴🍉🁴🍉天以后开始做试生产的准备嗯，这个计划还算可以。”
许振鸣一边走路🐟一边颔首点头，认为胡明镇的工作做得不错，准备很充分。
不多久，他来到🐟4号钢构厂房的另外一个💋光刻室🙽🏵🞛。
这间光刻室🌓⚎🐒是用来安装国产光刻机的生😓产车间。
车间里此时也非常忙碌，万宁古、何☢昌林和郝宁等人也正🞆👹在装🁴🍉配第三代光刻机。
他们这边的进度好像要快了许多，激光光路系统的部件已经组装完成，光🂒🎒刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会，好像要准备进行光刻机的总装工序。
看到这种情况，许振🗷☪鸣倒是不理☵解，“老万，你们这边的进度为啥要快一些？”
“🎇🎿🖸许董，这台光刻机的主要部件我们都已经准备好，就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货，其实根本不要检验其性能。最关键的🎺事情就看光刻机总装以后的效果。
“光🄵🁾刻机的精度主要是受主体🍘系统、底座、横移、😠🂴📀减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够，我们的项目还是没成功。”